适用于光(guāng)學、半導體及FPD應用—島津UV-VIS-NIR分光(guāng)光(guāng)度計
是一(yī)款頂級的高(gāo)靈敏度分光(guāng)光(guāng)度計，可進行深紫外區檢測，具備大樣品室，可滿足光(guāng)學、半導體及FPD在以下(xià)方面的檢測需求。
FPD：
材料評估中NIR和大樣品的高(gāo)靈敏度測定。
半導體：
短波長(cháng)激光(guāng)和12英寸晶片整體表面的深紫外區測定。
光(guāng)通(tōng)信：
減反射膜NIR高(gāo)靈敏度測定。
光(guāng)學：
從(cóng)DUV到(dào)NIR再到(dào)大樣品的高(gāo)靈敏度分析。
SolidSpec-3700/3700DUV特點
高(gāo)靈敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是第一(yī)台使用3個(gè)檢測器(qì)的分光(guāng)光(guāng)度計：光(guāng)電(diàn)倍增管（PMT）探測器(qì)檢測紫外區和可見(jiàn)光(guāng)區，近紅(hóng)外區使用InGaAs 和 PbS檢測器(qì)。InGaAs 和 PbS檢測器(qì)的使用使得近紅(hóng)外區域的靈敏度顯著增強。
深紫外區檢測
SolidSpec-3700DUV具有檢測深紫外區的能(néng)力，可測定至165nm或175nm的積分球。此檢測是用氮氣吹掃光(guāng)室和樣品室進行的。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光(guāng)單元DDU-DUV測定）的最短波長(cháng)。
大樣品室
大樣品室（900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下(xià)進行檢測。其垂直光(guāng)路(lù)可直接測量大樣品同時保持它們的水(shuǐ)平狀态。使用自(zì)動X-Y樣品台（選配）測定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。
Optional Accessories選配組件(jiàn)
Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光(guāng)單元DDU/DDU-DUV對于液、固樣品透過率測定
自(zì)動X-Y樣品台（自(zì)動測量）
大型鏡面反射附件(jiàn)
氮氣流量裝置
絕對鏡面反射附件(jiàn)(5°12°30°45°)
積分球删除樣品盤
一(yī)體軟件(jiàn)
SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件(jiàn)包括光(guāng)譜模塊，光(guāng)度模塊，動力學及報(bào)告模塊等功能(néng)。多(duō)重的安全性及可追蹤性以确保删除數據的可靠性。
光(guāng)學組件(jiàn)需要對透光(guāng)率及反射率進行高(gāo)精度測定。SolidSpec-3700/37000DUV擁有三個(gè)檢測器(qì)，覆蓋的範圍從(cóng)紫外區到(dào)近紅(hóng)外區。通(tōng)過使用InGaAs和冷卻型PbS檢測器(qì)提高(gāo)近紅(hóng)外區的靈敏度。從(cóng)而得到(dào)從(cóng)紫外區到(dào)近紅(hóng)外區高(gāo)精度和高(gāo)靈敏度光(guāng)譜。
傳統的分光(guāng)光(guāng)度計使用一(yī)個(gè)光(guāng)電(diàn)倍增管對紫外和可見(jiàn)區域進行檢測。但所有檢測器(qì)在檢測器(qì)轉換範圍内靈敏度較低(dī)，因此在此範圍檢測時無法實現高(gāo)靈敏度測定。 SolidSpec-3700/3700DUV通(tōng)過使用InGaAs檢測器(qì)可在轉換領域内進行高(gāo)靈敏度檢測。
高(gāo)靈敏度檢測
InGaAs檢測器(qì)和PbS 檢測器(qì)測定銳截止濾光(guāng)片透過率的譜圖如下(xià)圖所示：SolidSpec-3700/3700DUV從(cóng)850至1600nm範圍内實現了低(dī)噪音(yīn)水(shuǐ)平，與傳統的分光(guāng)光(guāng)度計相(xiàng)比，1300至1600nm範圍内，噪聲減少了四分之一(yī)。
SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm，在透過率小(xiǎo)于1%的前提下(xià)，噪聲水(shuǐ)平小(xiǎo)于0.1%。此波長(cháng)範圍的高(gāo)靈敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成為(wèi)檢測低(dī)反射樣品的強有力工(gōng)具，如在光(guāng)傳輸中使用的防反射塗層及薄膜。
1500nm處的噪聲為(wèi)世界最優水(shuǐ)平，小(xiǎo)于0.00005Abs（狹縫寬度8nm，RMS），删除使用直接受光(guāng)單元DDU/DDU-DUV.小(xiǎo)于0.00003Abs（狹縫寬度2nm，RMS）
随著(zhe)以ArF激發激光(guāng)為(wèi)代表的使用深紫外激光(guāng)的高(gāo)精度激光(guāng)儀器(qì)的發展，提高(gāo)了對光(guāng)學材料深紫外區透過率和反射率的測定要求。
SolidSpec-3700DUV使用積分球時可在175nm-2600nm的範圍測定，而使用選配件(jiàn)直接受光(guāng)單元DDU-DUV時可在165nm-3300nm的範圍測定。
使用此附件(jiàn)，可實現從(cóng)深紫外區到(dào)近紅(hóng)外區寬範圍的測定。
空氣中的氧分子會(huì)吸收190nm以下(xià)的深紫外光(guāng)，需要使用氮氣吹掃光(guāng)室和樣品室以除去氧分子的幹擾。SolidSpec-3700DUV各單元都設有吹掃入口，可進行充分的氮氣吹掃，以實現深紫外區的高(gāo)靈敏度和低(dī)雜(zá)散光(guāng)。
為(wèi)進行深紫外區的測定，檢測器(qì)的窗(chuāng)口和積分球内壁均使用不吸收深紫外光(guāng)的材料，SolidSpec-3700DUV的PMT檢測器(qì)使用特制熔融石英作為(wèi)窗(chuāng)口材料，積分球内壁使用深紫外區具有高(gāo)反射性能(néng)的特殊樹脂。
深紫外區高(gāo)靈敏度和低(dī)雜(zá)散光(guāng)測定
深紫外區的高(gāo)精度測定要求充足光(guāng)通(tōng)量和低(dī)雜(zá)散光(guāng)。
右圖是使用直接受光(guāng)單元DDU-DUV（選配）測定石英闆的透過率光(guāng)譜。
在紫外區域可得到(dào)超低(dī)噪聲的光(guāng)譜。
SolidSpec-3700/3700DUV配有大樣品室，可使大樣品進行無損檢測。其内部尺寸為(wèi)900W x 700D x 350H。
可測定的最大樣品尺寸700W x 560D x 40H mm。樣品尺寸為(wèi)12英寸或310 x 310 mm的樣品可用自(zì)動X-Y樣品台（選配）
使用X-Y樣品台的大樣品室
使用X-Y樣品台測定12英寸矽片
自(zì)動檢測
為(wèi)SolidSpec-3700/3700DUV研發的自(zì)動X-Y樣品台可對提前指定點進行自(zì)動檢測，同時又(yòu)可進行氮氣吹掃。
12英寸矽片上(shàng)SiO2薄膜的反射光(guāng)譜
12英寸矽片上(shàng)薄膜的厚度測定