Verios 是 FEI 領先的 XHR(極高(gāo)分辨率)SEM 系列的第二代産品。在尖端半導體制造和材料科學應用中,它可在 1 至 30 kV 範圍内提供亞納米量級分辨率以及增強的對比度,滿足材料精密測量所需,同時又(yòu)不會(huì)削弱傳統掃描電(diàn)子顯微鏡 (SEM) 所具有的高(gāo)吞吐量、分析能(néng)力、樣本靈活性和易用性等優勢。