第一(yī)款半導體行業(yè)專用 TEM
Metrios 系統是第一(yī)款半導體行業(yè)專用 TEM,它能(néng)根據半導體制造商的需要快速、精确地開(kāi)展測量,幫助他們開(kāi)發和控制晶圓片制造工(gōng)藝。基本 TEM 操作和測量步驟實現了高(gāo)度自(zì)動化,最大限度降低(dī)了為(wèi)操作員(yuán)提供專門(mén)培訓的需要。而且,先進的自(zì)動化測量過程相(xiàng)比手動方法具有更大的精度。Metrios TEM 旨在為(wèi)客戶提供比其他 TEM 更高(gāo)的通(tōng)量和更低(dī)的單位樣本成本。